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Definition wählen)
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Alle
Durchmesser zwischen Min.- und Max.-Durchmesser, die vom Lasermeßgerät
mit den spezifizierten Genauigkeitsmerkmalen gemessen werden können.
Der maximale Durchmesser wird vom Meßbereich bzw. von den spezifizierten
Wiederholbarkeits- und Linearitätsmerkmalen begrenzt. Der Min.-Durchmesser
wird von den Fokussierungsmerkmalen des Laserstrahls bestimmt. |
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ist
die Höhe des vom Laserstrahl abgetasteten Bereiches, worin
sich das Objekt befinden muß, um gemessen werden zu können.
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ist
die Ebene, rechtwinklig zur Abtastebene, worin sich die Objektachse
befinden soll, um die spezifizierten optimalen Linearitätsmerkmale
zu erhalten.
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ist
die Ebene, worauf die Achse des Laserstrahls verläuft. |
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befindet
sich innerhalb der Meßebene, in der Mitte des Meßbereichs.
Sie wird von den Koordinaten h und d bestimmt, welche die Meßfeldmitte
und die Lage der Meßebene definieren.
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Vom
Lasergerät erfassbare Mindest-Durchmesserschwankung. Sie wird
in der Regel von der Software bestimmt, womit die Signale des Geräts
verarbeitet werden, muß jedoch jedenfalls mit der Wiederholbarkeit
der Messung im Zusammenhang stehen. Auflösungen, die viel höher
als die Wiederholbarkeit der Messung sind, sind nutz- und sinnlos. |
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Maximale
Durchmesserveränderung, welche bei Objekt im Stillstand und stets
an der gleichen Stelle des Meßbereiches gemessen wird. Nach
Spezifikation soll diese Messung bei einer Temperatur von 20°C
±1°C und einer Meßzeit von 1 Sek. erfolgen, falls
nicht anders vereinbart. Der Vertrauenskoeffizient beträgt ±3s,
entsprechend 99,7% der Messungen. Gegenüber der Spezifikation
verbessert sich die Wiederholbarkeit für Durchmesser, die kleiner
als der maximal meßbare Durchmesser sind, bzw. verschlechtert
sich bei Reduzierung der Meßzeit, weil sie umgekehrt proportional
zur Quadratwurzel der Meßzeit ist (Beispiel: Die Wiederholbarkeit
halbiert sich bei Vervierfachung der Meßzeit). |
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Maximal
möglicher Meßfehler für:
- eine
Durchmesserveränderung innerhalb der spezifizierten Max.
und Min.-Durchmesser.
- eine
Verschiebung des Objektes in der Meßebene, innerhalb des
Meßbereichs.
- eine
seitliche Verschiebung des Objektes, außerhalb der Meßebene,
innerhalb des Meßbereichs.
Die
Objektachse muß immer rechtwinklig zur Abtastebene gehalten
werden, um Meßfehler infolge der Objektneigung zu vermeiden.
Nachdem die Linearitätsfehler systematisch auftreten, ist ihre
Korrektur durch Neu-Eichung des Meßgerätes mit einem
Muster-Durchmesser (Master) möglich, welcher an der Stelle
positioniert wird, wo sich das zu messende Objekt befinden wird.
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Max.
Meßfehler eines Musterobjektes in Meßfeldmitte, wenn
sein Durchmesser zwischen den spezifizierten Min.- und Max.-Werten
schwankt.
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max.
Meßfehler eines Musterobjektes mit einem spezifiziertem Durchmesser,
wenn sich das Musterobjekt innerhalb des Meßbereiches nach
oben und nach unten bewegt, mit der Achse innerhalb der Meßebene.
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max.
Meßfehler eines Musterobjektes mit einem beliebigem Durchmesser,
wenn sich das Musterobjekt innerhalb des Meßbereiches seitlich
bewegt, mit der Achse außerhalb der Meßebene. Es wird
als maximaler Fehler in µm für jeden mm seitlicher Verschiebung
spezifiziert.
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Als
Folge der Konstruktionsmerkmale des rotierenden Spiegels und des Antriebes,
kann der Laserstrahl mit der spezifizierten maximalen Weite seitlich
schwenken. |
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ist
die Häufigkeit, womit der Laserstrahl den Meßbereich abtastet.
Jeder Abtastung entspricht eine einzelne Ablesung, die jedoch die
spezifizierte Wiederholbarkeit nicht besitzt. |
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ist
die gleichmäßige Bewegungsgeschwindigkeit, womit der Laserstrahl
das Meßfeld abtastet. |
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werden
von den Ellipsenachsen bestimmt, worin der Laserstrahl fokussiert
wird (99% der Leistung), innerhalb der Meßebene.
Die
horizontale Abmessung "l" entspricht der Breite des Laserstrahls
und bestimmt die minimale Länge der am Objekt messbaren Details.
Die vertikale Abmessung "s" entspricht der Stärke
des Laserstrahls und bestimmt den kleinsten meßbaren Durchmesser.
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Die
Mittelwertbildung erfolgt auf einer Anzahl Abtastungen, welche dem
Produkt programmierte Meßzeit mal Abtastfrequenz entspricht.
Jede Mittelwertbildung erfolgt auf einer neuen Gruppe Abtastungen. |
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Diese
wird auf einer Anzahl Abtastungen gleich dem 4-fachen des vorhergehenden
Falls berechnet. Die Mittelwertbildung erfolgt mit einem Takt gleich
der programmierten Meßzeit. Die zuletzt erfaßten Abtastungen
ersetzen laufend die älteren, so daß die Gesamtanzahl unverändert
bleibt. |
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Minimale
Zeit für die einfache Mittelwertbildung, erforderlich zur Erreichung
der spezifizierten Wiederholbarkeit, für alle meßbaren
Durchmesser. Die Anzahl gemittelter Abtastungen ist das Produkt
Meßzeit mal Abtasthäufigkeit. Eine kürzere Meßzeit,
als spezifiziert, reduziert die Wiederholbarkeit.
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Typischer
Wert. Bezeichnet die Meßwertänderung infolge der Raumtemperaturschwankung,
bei der Messung eines Objektes mit Wärmedehnung gleich Null
(INVAR).
Für ILS200
Typischer Wert bei Verwendung eines einzigen Lasergeräts. Bezeichnet
die Meßwertänderung infolge der Raumtemperaturschwankung,
bei der Messung eines Objektes mit Wärmedehnung gleich Null
(INVAR).
Bei Verwendung von zwei Geräten, wird die Durchmesserveränderung
in mm / °C aufgrund folgender Formel
berechnet, wobei F in mm ausgedrückt
wird:
DF/DT=1,8104-0,01884*F
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